江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東吳南路25號(hào)城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號(hào)廠房）

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合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

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單片清洗設(shè)備

Post-CMP 清洗設(shè)備（水平式）

Xtrim-SC-BC300

設(shè)備概述

LD/ULD 、Brush Chamber、Clean Chamber、Transfer Module、Robot、Chemical CDS

設(shè)備亮點(diǎn)

功能完備

  • 支持雙面刷洗和邊緣刷洗Brush快速更換。

  • Mega-Sonic，DIW，N2等基本配置可選。

自動(dòng)化生產(chǎn)

  • 支持與CMP設(shè)備互聯(lián)/離線水槽上料。

  • Robot自動(dòng)上下片。

  • 支持自動(dòng)混液和供液。

定制化設(shè)計(jì)

  • 支持6&8&12 inch Wafer。

  • 可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化多腔搭配。

污染控制

  • 專業(yè)材質(zhì)選用：實(shí)現(xiàn)對(duì)Particle的高效管控。

  • Wafer在各Chamber之間采用密閉環(huán)境模塊化搬運(yùn)。

工藝性能優(yōu)