江蘇芯夢首臺全自動水平式片盒清洗設備正式交付
伴隨著一場潤物無聲的春雨,江蘇芯夢的首臺全自動水平式片盒清洗設備正式交付客戶端。

江蘇芯夢2021年開始投入晶圓片盒清洗產品研發(fā),經過全體芯夢人夜以繼日的不懈努力,已成功下線了片盒清洗系列多款產品,包括半自動晶圓片盒清洗機FC-300/400、全自動FOUP清洗機FC-A300、全自動水平式片盒清洗機FC-H300等。

本次交付的全自動水平式片盒清洗機FC-H300,是江蘇芯夢自主研發(fā)的又一款高端全自動片盒清洗設備,通過芯夢自主知識產權的獨特設計,可實現晶圓盒最高清潔等級清洗,且操作方便,從Load-unload實現全自動過程控制。
據了解,全自動水平式片盒清洗機FC-H300適用于SEP、Entergris、Kakizaki等不同廠家、各類尺寸的FOUP、FOSB以及其他shipping boxes,亦可定制清洗其他規(guī)格的晶圓盒材料,廣泛適用于晶圓制造、集成電路、先進封裝等全部半導體芯片制造濕法制程階段,以及化合物半導體和片盒制造行業(yè)。
“FC-H300這款產品凝聚了芯夢半導體的多項最新技術成果,產品的技術指標已達到國內一流、國內領先的水平。我們會繼續(xù)加大研發(fā)投入,努力為國內半導體行業(yè)提供真正獨立可靠的高端半導體濕法工藝裝備解決方案”江蘇芯夢總經理廖周芳表示。
江蘇芯夢是中國領先的半導體高端濕法制程設備解決方案供應商江蘇芯夢持續(xù)致力于賦能客戶價值,為集成電路制造、先進晶圓級封裝制造及大硅片制造領域的高端濕法制程設備提供綜合解決方案。